光励起プラズマによるダイヤモンドライクカーボンの精密成膜とその応用
Bibliographic Information
- Other Title
-
- ヒカリ レイキ プラズマ ニ ヨル ダイヤモンドライクカーボン ノ セイミツセイマク ト ソノ オウヨウ
- Precise Deposition and Application of Diamond-like Carbon by Photo-excited Plasma
- 特集 プラズマが誘起する表面反応の制御による膜作製
- トクシュウ プラズマ ガ ユウキ スル ヒョウメン ハンノウ ノ セイギョ ニ ヨル マク サクセイ
Search this article
Journal
-
- 表面と真空 = Vacuum and surface science / 日本表面科学会, 日本真空学会 編
-
表面と真空 = Vacuum and surface science / 日本表面科学会, 日本真空学会 編 67 (2), 59-64, 2024-02
東京 : 日本表面科学会 ; 2018-
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520862312520043392
-
- NII Book ID
- AA12808657
-
- ISSN
- 24335835
-
- NDL BIB ID
- 033346031
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
-
- Data Source
-
- NDL