α"-Fe₁₆N₂薄膜の高密度磁気記録媒体への応用に向けた反応性パルスDCスパッタリング成膜条件の検討および結晶化促進

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  • a"-Fe ₁ ₆ N ₂ ハクマク ノ コウミツド ジキ キロク バイタイ エ ノ オウヨウ ニ ムケタ ハンノウセイ パルス DC スパッタリングセイマク ジョウケン ノ ケントウ オヨビ ケッショウカ ソクシン
  • Investigation of Fabrication Conditions and Acceleration of Crystallization of α"-Fe₁₆N₂ Thin Film Fabricated by Pulsed DC Reactive Sputtering for High Density Magnetic Recording Media Application

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