直流アーク放電反応性プラズマ蒸着法
書誌事項
- タイトル別名
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- チョクリュウ アーク ホウデン ハンノウセイ プラズマ ジョウチャクホウ
- Reactive Plasma Deposition with DC Arc Discharge
- 小特集 ドライプロセスの最新動向
- ショウトクシュウ ドライプロセス ノ サイシン ドウコウ
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収録刊行物
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- 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
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表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan 75 (7), 304-309, 2024-07
東京 : 表面技術協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520864026231442176
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- NII書誌ID
- AN1005202X
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- ISSN
- 09151869
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- NDL書誌ID
- 033622508
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- データソース種別
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- NDL
