エレクトレット帯電/陽極接合同時プロセスで作製したMEMS振動発電素子の発電評価
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- エレクトレット タイデン/ヨウキョク セツゴウ ドウジ プロセス デ サクセイ シタ MEMS シンドウ ハツデン ソシ ノ ハツデン ヒョウカ
- Evaluation of power generating from mems vibrational energy harvester made by simultaneous process for anodic bonding and electret charging
- マイクロマシン・センサシステム バイオ・マイクロシステム合同研究会 センサ,MEMS,一般
- マイクロマシン ・ センサ システム バイオ ・ マイクロ システム ゴウドウ ケンキュウカイ センサ,MEMS,イッパン
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- 電気学会研究会資料. MSS
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電気学会研究会資料. MSS 2024 (57-61), 1-4, 2024-08-09
東京 : 電気学会