低気圧誘導結合放電によるMg-不活性ガス混合プラズマの生成とMg薄膜の合成
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- テイキアツ ユウドウ ケツゴウ ホウデン ニ ヨル Mg-フカッセイ ガス コンゴウ プラズマ ノ セイセイ ト Mg ハクマク ノ ゴウセイ
- Generation of Mg-inert gas mixture plasma and Mg thin film synthesis
- 放電・プラズマ・パルスパワー/静止器/開閉保護 合同研究会・アークプラズマ・電気接点とその応用
- ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー/セイシキ/カイヘイ ホゴ ゴウドウ ケンキュウカイ ・ アークプラズマ ・ デンキ セッテン ト ソノ オウヨウ
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- 電気学会研究会資料. SA / 電気学会静止器研究会 [編]
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電気学会研究会資料. SA / 電気学会静止器研究会 [編] 2024 (28-34), 5-9, 2024-08-05
東京 : 電気学会