Nd:YAG高周波レーザによる窒化アルミニウムの微細穴加工
Bibliographic Information
- Other Title
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- Nd YAG コウシュウハ レーザ ニ ヨル チッカ アルミニウム ノ ビサイ アナカコウ
- 第184回電気加工研究会
- ダイ184カイ デンキ カコウ ケンキュウカイ
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Journal
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- 電気加工技術
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電気加工技術 29 (92), 8-13, 2005-06-10
東京 : 電気加工学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521136279729821952
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- NII Article ID
- 10016444244
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- NII Book ID
- AN0033342X
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- ISSN
- 03891550
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- NDL BIB ID
- 7696355
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
