表面差分反射分光と反射率差分光によるSi表面上のO2,NO,CO反応の研究
Bibliographic Information
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- ヒョウメン サブン ハンシャ ブンコウ ト ハンシャリツサ ブンコウ ニ ヨル Si ヒョウメン ジョウ ノ O2 NO CO ハンノウ ノ ケンキュウ
- MH賞
- MHショウ
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Journal
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- Readout : Horiba technical reports
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Readout : Horiba technical reports (36), 38-43, 2010-05
京都 : 堀場製作所
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521136279879415936
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- NII Article ID
- 40017251180
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- NII Book ID
- AN1019009X
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- ISSN
- 09159916
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- NDL BIB ID
- 10796909
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM15(科学技術--科学技術一般--測定・測定器)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
