Multifunction of Aluminum Nitride Thin films Deposited on MoSi2 Substrates--Ceramic Skin
書誌事項
- タイトル別名
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- Multifunction of Aluminum Nitride Thin
- MoSi2基板上に作製したAlN薄膜の多機能性--セラミックスの皮膚
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説明
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌
収録刊行物
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- 九州工業技術研究所報告 / 九州工業技術研究所報告編集委員会 編
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九州工業技術研究所報告 / 九州工業技術研究所報告編集委員会 編 (56), 3493-3496, 1996-03
鳥栖 : 通商産業省工業技術院九州工業技術研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521136279900513152
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- NII論文ID
- 40005034385
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- NII書誌ID
- AN10426582
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- ISSN
- 13403958
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- NDL書誌ID
- 3934357
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- 本文言語コード
- en
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- NDL 雑誌分類
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- ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles