ステッパ用高精度ホログラフィ重ね合わせ技術
書誌事項
- タイトル別名
-
- ステッパヨウ コウ セイド ホログラフィ カサネアワセ ギジュツ
- 半導体-2-バイポーラ 化合物半導体 製造技術 品質技術<特集> ; 製造技術・品質技術
- ハンドウタイ 2 バイポーラ カゴウブツ ハンドウタイ セイゾウ ギジュツ ヒ ; セイゾウ ギジュツ ヒンシツ ギジュツ
この論文をさがす
抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
-
- National technical report
-
National technical report 36 (4), p451-458, 1990-08
守口 : 松下電器産業技術総務センター技術情報部 ; 1955-1997
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1521136280229369984
-
- NII論文ID
- 40000025126
-
- NII書誌ID
- AN00031704
-
- ISSN
- 00280291
-
- NDL書誌ID
- 3678641
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles