SiC基板上に作製した窒化物半導体デバイスの現状と将来

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  • 特集:次世代半導体デバイスとしてのSiC単結晶を用いたオプトメカトロニクス技術
  • トクシュウ ジ セダイ ハンドウタイ デバイス ト シテ ノ SiCタンケッショウ オ モチイタ オプトメカトロニクス ギジュツ

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