SiC基板上に作製した窒化物半導体デバイスの現状と将来
Bibliographic Information
- Other Title
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- SiC キバン ジョウ ニ サクセイ シタ チッカブツ ハンドウタイ デバイス ノ ゲンジョウ ト ショウライ
- 特集:次世代半導体デバイスとしてのSiC単結晶を用いたオプトメカトロニクス技術
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Journal
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- 光技術コンタクト = Optical and electro-optical engineering contact
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光技術コンタクト = Optical and electro-optical engineering contact 44 (12), 699-708, 2006-12
東久留米 : 光学工業技術協会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521136280407454464
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- NII Article ID
- 40015223193
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- NII Book ID
- AN10075091
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- ISSN
- 09137289
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- NDL BIB ID
- 8618849
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles