ULSIゲート絶縁膜の高輝度軟X線・硬X線光電子分光
書誌事項
- タイトル別名
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- ULSI ゲート ゼツエン マク ノ コウキドナンXセン コウXセン コウデンシ ブンコウ
- 特集/放射光利用とナノテクノロジー
- トクシュウ ホウシャコウ リヨウ ト ナノテクノロジー
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収録刊行物
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- 化學工業
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化學工業 54 (9), 698-703, 2003-09
東京 : 小峰工業出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521417755091900160
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- NII論文ID
- 80016077082
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- NII書誌ID
- AN00037245
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- ISSN
- 04512014
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- NDL書誌ID
- 6680207
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles