表面波プラズマCVD
Bibliographic Information
- Other Title
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- ヒョウメンハ プラズマ CVD
- 全冊特集 次世代プロセスに対応する半導体製造装置と材料 ; 半導体製造装置・周辺機器
- ゼン サツ トクシュウ ジ セダイ プロセス ニ タイオウスル ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ト ザイリョウ ; ハンドウタイ セイゾウ ソウチ シュウヘン キキ
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Journal
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- 電子材料
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電子材料 46 (3), 24-31, 2007-03
東京 : 工業調査会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521417755258107904
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- NII Article ID
- 40015362393
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- NII Book ID
- AN00153166
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- ISSN
- 03870774
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- NDL BIB ID
- 8727421
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles