小特集 パワー半導体結晶成長
書誌事項
- タイトル別名
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- ショウトクシュウ パワー ハンドウタイ ケッショウ セイチョウ
- Special issue: Crystal growth for power device
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説明
記事種別: 特集
収録刊行物
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- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
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Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空 54 (6), 335-397, 2011-06
東京 : 日本真空協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521417755359152256
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- NII論文ID
- 40018938662
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- NII書誌ID
- AA12298652
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- ISSN
- 18822398
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- NDL書誌ID
- 11189115
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
