イオン注入装置
書誌事項
- タイトル別名
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- イオン チュウニュウ ソウチ
- Ion Implantation System
- 2015年の技術と成果
- 2015ネン ノ ギジュツ ト セイカ
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収録刊行物
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- 日新電機技報 = The Nissin electric review : 日新電機グループ技術論文誌
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日新電機技報 = The Nissin electric review : 日新電機グループ技術論文誌 61 (1), 21-23, 2016
京都 : 日新電機生産技術本部知的財産部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521417755367099520
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- NII論文ID
- 40020837033
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- NII書誌ID
- AN0033385X
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- ISSN
- 05495377
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- NDL書誌ID
- 027326571
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles