第21回マイクロマシン/MEMS展の見どころ
書誌事項
- タイトル別名
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- ダイ21カイ マイクロマシン MEMSテン ノ ミドコロ
- 特集 マイクロマシン/MEMS展--BEANSプロジェクト研究成果の中間報告も
- トクシュウ マイクロマシン MEMSテン BEANS プロジェクト ケンキュウ セイカ ノ チュウカン ホウコク モ
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収録刊行物
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- Electronic journal
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Electronic journal (196), 85-87, 2010-07
東京 : 電子ジャーナル