液晶ディスプレイ製造工程における微細パターン自動修正技術
Bibliographic Information
- Other Title
-
- エキショウ ディスプレイ セイゾウ コウテイ ニ オケル ビサイ パターン ジドウ シュウセイ ギジュツ
- Automatic repair technology of fine pattern in LCD manufacturing process
- 産業機械用商品・要素技術特集号
- サンギョウ キカイヨウ ショウヒン ヨウソ ギジュツ トクシュウゴウ
Search this article
Abstract
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
Journal
-
- NTN technical review
-
NTN technical review (78), 121-126, 2010-10
大阪 : NTN
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1521417755689398144
-
- NII Article ID
- 40017434849
-
- NII Book ID
- AN10232848
-
- ISSN
- 09150528
-
- NDL BIB ID
- 10933927
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles