大口径・高品質SiCバルク単結晶開発の現状
書誌事項
- タイトル別名
-
- ダイコウケイ コウヒンシツ SiC バルクタンケッショウ カイハツ ノ ゲンジョウ
- シリコンカーバイド素子
- シリコンカーバイド ソシ
この論文をさがす
収録刊行物
-
- FEDジャーナル / 新機能素子研究開発協会 [編]
-
FEDジャーナル / 新機能素子研究開発協会 [編] 12 (3), 9-15, 2001
東京 : 新機能素子研究開発協会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1521417755819673856
-
- NII論文ID
- 40005685870
-
- NII書誌ID
- AN10190078
-
- ISSN
- 09182772
-
- NDL書誌ID
- 6456080
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
-
- データソース種別
-
- NDLサーチ
- CiNii Articles