大型基板用スパッタ装置におけるマルチマグネットカソード(MMC)の応用
書誌事項
- タイトル別名
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- オオガタ キバンヨウ スパッタ ソウチ ニ オケル マルチマグネット カソード MMC ノ オウヨウ
- Application of multiple-magnets cathode in the large-sized sputtering system
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収録刊行物
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- キヤノンアネルバ技報
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キヤノンアネルバ技報 14 35-37, 2008
[府中 (東京都) ] : キヤノンアネルバ
