コンタクト工学の現状--半導体デバイスの界面科学
書誌事項
- タイトル別名
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- コンタクト コウガク ノ ゲンジョウ ハンドウタイ デバイス ノ カイメン カガク
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収録刊行物
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- 機械の研究 = Science of machine
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機械の研究 = Science of machine 53 (4), 431-441, 2001-04
東京 : 養賢堂
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521699229662220416
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- NII論文ID
- 40000588466
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- NII書誌ID
- AN00349838
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- ISSN
- 03685713
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- NDL書誌ID
- 5715664
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles