0.25μmCMOS/SIMOX用KrFリソグラフィ技術
書誌事項
- タイトル別名
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- 0.25 マイクロm CMOS SIMOXヨウ KrF リソグラフィ ギジュツ
- 特集 0.25μmCMOS/SIMOXゲートアレイ技術
- トクシュウ 0.25 マイクロm CMOS SIMOX ゲート アレイ ギジュ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- NTT R & D / NTT先端技術総合研究所 企画編集
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NTT R & D / NTT先端技術総合研究所 企画編集 46 (4), 379-386, 1997-04
東京 : 電気通信協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521699229873552640
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- NII論文ID
- 40004826717
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- NII書誌ID
- AN10076516
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- ISSN
- 09152326
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- NDL書誌ID
- 4193342
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles