極薄バリア層自己形成技術--冶金学的なアプローチ

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書誌事項

タイトル別名
  • ゴクウス バリアソウ ジコ ケイセイ ギジュツ ヤキンガクテキナ アプローチ
  • Self-formation of Ti-rich barrier layers in Cu(Ti)alloy films
  • 特集 これだけは知っておきたい最新の配線・実装材料技術
  • トクシュウ コレダケ ワ シッテオキタイ サイシン ノ ハイセン ジッソウ ザイリョウ ギジュツ

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収録刊行物

  • 金属

    金属 77 (8), 854-859, 2007-08

    東京 : アグネ技術センター

被引用文献 (1)*注記

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