特集 マイクロマシン/MEMS展--BEANSプロジェクト研究成果の中間報告も
書誌事項
- タイトル別名
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- トクシュウ マイクロマシン MEMSテン BEANS プロジェクト ケンキュウ セイカ ノ チュウカン ホウコク モ
- Feature: Exhibition micromachine/MEMS
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抄録
記事種別: 特集
収録刊行物
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- Electronic journal
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Electronic journal (196), 85-108, 2010-07
東京 : 電子ジャーナル