人間×環境×マテソアル--ヒューマンアダプティブ・マテリアルの開拓(No.10)RFマグネトロンスパッタリング法によるZnO結晶性薄膜の作製とその光学特性

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  • ニンゲン カンキョウ マテソアル ヒューマンアダプティブ マテリアル ノ カイタク No 10 RF マグネトロンスパッタリングホウ ニ ヨル ZnO ケッショウセイ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ コウガク トクセイ
  • Preparation of ZnO crystalline thin films by an RF magnetron sputtering method and their optical properties

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  • 機能材料

    機能材料 30 (10), 49-55, 2010-10

    東京 : シーエムシー出版

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