接触力・光・温度を測るMEMSコンボセンサと物体の質感計測
書誌事項
- タイトル別名
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- セッショクリョク ・ ヒカリ ・ オンド オ ハカル MEMS コンボセンサ ト ブッタイ ノ シツカン ケイソク
- A MEMS Combo Sensor with Sensitivity to Multi-axial Force, Light, and Temperature
- 特集 独創的計測・分析技術の開発
- トクシュウ ドクソウテキ ケイソク ・ ブンセキ ギジュツ ノ カイハツ
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収録刊行物
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- 化學工業
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化學工業 67 (8), 608-615, 2016-08
東京 : 小峰工業出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521699230547589120
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- NII論文ID
- 40020916986
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- NII書誌ID
- AN00037245
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- ISSN
- 04512014
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- NDL書誌ID
- 027560538
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles