半導体産業における表面科学の役割
Bibliographic Information
- Other Title
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- ハンドウタイ サンギョウ ニ オケル ヒョウメン カガク ノ ヤクワリ
- Contribution in Semiconductor industry of surface science
- 特集 表面科学はいかに産業界に寄与してきたか
- トクシュウ ヒョウメン カガク ワ イカニ サンギョウカイ ニ キヨ シテキタカ
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Journal
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- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
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表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 32 (5), 246-253, 2011-05
東京 : 日本表面科学会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521699230715012864
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- NII Article ID
- 10028287454
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- NII Book ID
- AN00334149
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- ISSN
- 03885321
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- NDL BIB ID
- 11072084
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
