半導体用高真空中キャップ封止溶接機「JP-5A」
書誌事項
- タイトル別名
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- ハンドウタイヨウ コウシンクウ チュウ キャップ フウシ ヨウセツキ JP 5A
- Cap sealing machine for high-vacuum packaging of semiconductors, JP-5A
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収録刊行物
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- オリジンテクニカルジャーナル = Origin technical journal
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オリジンテクニカルジャーナル = Origin technical journal (72), 2009-10
東京 : オリジン電気