小特集 微小ギャップの排気
Bibliographic Information
- Other Title
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- ショウトクシュウ ビショウ ギャップ ノ ハイキ
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Journal
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- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
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真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 43 (10), 939-966, 2000-10
東京 : 日本真空協会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521699230902477184
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- NII Article ID
- 40001884250
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- NII Book ID
- AN00119871
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- ISSN
- 05598516
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- NDL BIB ID
- 5547951
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
