ハイブリッド車用パワー半導体の高効率イオン注入技術の開発

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  • ハイブリッドシャヨウ パワー ハンドウタイ ノ コウコウリツ イオン チュウニュウ ギジュツ ノ カイハツ
  • Development of highly efficient Ion implantation technology for hybrid vehicle power semiconductors

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