シリサイド技術が次世代トランジスタ形成のカギとなる
書誌事項
- タイトル別名
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- シリサイド ギジュツ ガ ジセダイ トランジスタ ケイセイ ノ カギ ト ナル
- Silicides support advanced gate stacks
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収録刊行物
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- Semiconductor international. 日本版
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Semiconductor international. 日本版 4 (8), 29-33, 2007-08
東京 : リード・ビジネス・インフォメーション