補遺 プラズマCVD法による窒化ホウ素膜,窒化炭素膜,ダイヤモンドの合成に関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- ホイ プラズマ CVDホウ ニ ヨル チッカ ホウソ マク チッカ タンソ マク ダイヤモンド ノ ゴウセイ ニ カンスル ケンキュウ
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収録刊行物
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- 無機材質研究所研究報告書 / 科学技術庁無機材質研究所 編
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無機材質研究所研究報告書 / 科学技術庁無機材質研究所 編 (104), 巻末8p-, 1998
つくば : 科学技術庁無機材質研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521699231137157504
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- NII論文ID
- 40004731804
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- NII書誌ID
- AN00349350
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- ISSN
- 13425129
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- NDL書誌ID
- 5534423
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP8(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
