レーザーテラヘルツ放射顕微鏡を用いた窒化ガリウムの不純物・欠陥評価
書誌事項
- タイトル別名
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- レーザーテラヘルツ ホウシャ ケンビキョウ オ モチイタ チッカ ガリウム ノ フジュンブツ ・ ケッカン ヒョウカ
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収録刊行物
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- 光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編
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光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編 27 (5), 25-28, 2016-05
東京 : 日本工業出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521980703410017536
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- NII論文ID
- 40020830877
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- NII書誌ID
- AA11758790
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- ISSN
- 0917026X
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- NDL書誌ID
- 027314945
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
