広視野レーザ走査型干渉計を用いた位相シフト不要な形状計測技術
Bibliographic Information
- Other Title
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- コウシヤ レーザ ソウサガタ カンショウケイ オ モチイタ イソウ シフト フヨウ ナ ケイジョウ ケイソク ギジュツ
- 特集 先端計測技術開発の展望
- トクシュウ センタン ケイソク ギジュツ カイハツ ノ テンボウ
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Journal
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- ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering
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ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering 60 (9), 682-687, 2015-09
川崎 : 化学工業社
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521980704711041536
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- NII Article ID
- 40020571231
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- NII Book ID
- AN00074423
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- ISSN
- 03871037
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- NDL BIB ID
- 026699821
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
