半導体単結晶育成過程の転位密度評価シミュレーション(2)
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- Other Title
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- ハンドウタイタンケッショウ イクセイ カテイ ノ テンイ ミツド ヒョウカ シミュレーション 2
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Journal
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- 機械の研究 = Science of machine
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機械の研究 = Science of machine 57 (7), 743-749, 2005-07
東京 : 養賢堂
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521980704891324160
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- NII Article ID
- 40006820598
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- NII Book ID
- AN00349838
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- ISSN
- 03685713
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- NDL BIB ID
- 7404111
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN