サファイア高温隔膜真空計の開発
書誌事項
- タイトル別名
-
- サファイア コウオンカクマク シンクウケイ ノ カイハツ
- Development of a high-temperature sapphire capacitance diaphragm gauge
この論文をさがす
収録刊行物
-
- azbil technical review = azbilテクニカルレビュー : 山武グループ技術研究報告書
-
azbil technical review = azbilテクニカルレビュー : 山武グループ技術研究報告書 (52), 34-41, 2011-01
東京 : 山武経営企画部