超微細加工技術
書誌事項
- タイトル別名
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- チョウビサイ カコウ ギジュツ
- 特集 生産技術--21世紀「超・製造業」の実現に向けて
- トクシュウ セイサン ギジュツ 21セイキ チョウ セイゾウギョウ ノ ジツゲン ニ ムケテ
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収録刊行物
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- Matsushita technical journal
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Matsushita technical journal 47 (3), 184-231, 2001-06
守口 : 松下電器産業コーポレートR&D戦略室
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521980705102678656
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- NII論文ID
- 40005195443
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- NII書誌ID
- AA11187758
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- ISSN
- 13439529
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- NDL書誌ID
- 5798949
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles