極薄イットリウムアルミネート絶縁膜の物性及び電気的特性評価

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タイトル別名
  • ゴクウス イットリウムアルミネート ゼツエン マク ノ ブッセイ オヨビ デンキテキ トクセイ ヒョウカ
  • 特集:ゲート絶縁膜/Si界面の評価
  • トクシュウ ゲート ゼツエン マク Si カイメン ノ ヒョウカ

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