圧電・超音波材料 RFバイアススパッタ法による簡便なc軸平行配向ZnO膜の形成--RFバイアスを用いたイオン照射による結晶配向制御
Bibliographic Information
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- 超音波techno / 超音波techno編集部 編
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超音波techno / 超音波techno編集部 編 23 (2), 59-62, 2011
東京 : 日本工業出版
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1521980705516317056
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- NII Article ID
- 40018763807
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- NII Book ID
- AN10068970
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- ISSN
- 09162410
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- NDL BIB ID
- 11043308
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles