四塩化ケイ素の水素還元 特にケイ素および廃ガス中のシラン分の生成に及ぼす還元条件の影響
書誌事項
- タイトル別名
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- 4エンカ ケイソ ノ スイソ カンゲン トクニ ケイソ オヨビ ハイガス チュウ ノ シラン ブン ノ セイセイ ニ オヨボス カンゲン ジョウケン ノ エイキョウ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 東京工業試験所報告
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東京工業試験所報告 59 (5), 198-203, 1964-05
東京 : 工業技術院東京工業試験所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521980705726404480
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- NII論文ID
- 40018121141
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- NII書誌ID
- AN0015956X
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- ISSN
- 03718808
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- NDL書誌ID
- 9123684
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
