原子層物質のCVD成長技術
書誌事項
- タイトル別名
-
- ゲンシソウ ブッシツ ノ CVD セイチョウ ギジュツ
- 特集 新機能物質・材料創製研究の最前線
- トクシュウ シン キノウ ブッシツ ・ ザイリョウ ソウセイ ケンキュウ ノ サイゼンセン
この論文をさがす
説明
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
収録刊行物
-
- NTT技術ジャーナル / 日本電信電話株式会社 編
-
NTT技術ジャーナル / 日本電信電話株式会社 編 31 (8), 25-28, 2019-08
東京 : 電気通信協会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1521980705936000128
-
- NII論文ID
- 40021987599
-
- NII書誌ID
- AN1013019X
-
- ISSN
- 09152318
-
- NDL書誌ID
- 029926579
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles