Application of PSI/SCM microscope for nanoindentation tester
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- Application of PSI SCM microscope for nanoindentation tester
- 共焦点・位相シフト干渉顕微鏡のナノインデンターへの応用
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- 技研所報
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技研所報 46 (3), 117-120, 2010-07
東久留米 : 機械振興協会技術研究所
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1522262179612195840
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- NII Article ID
- 40017233522
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- NII Book ID
- AN00050899
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- ISSN
- 0289243X
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- NDL BIB ID
- 10778278
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- Text Lang
- en
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- NDL Source Classification
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- ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
