ウルトラクリーンルーム--ガス状汚染物質を制御した超清浄空間の実現
書誌事項
- タイトル別名
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- ウルトラ クリーン ルーム ガスジョウ オセン ブッシツ オ セイギョシタ チ
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説明
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 大成建設技術研究所報
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大成建設技術研究所報 (30), 13-16, 1997
横浜 : 大成建設技術研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522262179682315136
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- NII論文ID
- 40002289627
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- NII書誌ID
- AN00136688
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- ISSN
- 03872254
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- NDL書誌ID
- 4353245
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles