スプレー熱分解(SPD)法の概要と酸化スズ透明導電膜形成への応用

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  • スプレー ネツ ブンカイ SPD ホウ ノ ガイヨウ ト サンカ スズ トウメイ ドウデン マク ケイセイ エ ノ オウヨウ
  • SPD法による化合物半導体薄膜の形成
  • SPDホウ ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイ ハクマク ノ ケイセイ

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資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

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  • 機能材料

    機能材料 20 (3), 5-13, 2000-03

    東京 : シーエムシー出版

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