MeVイオン注入装置〔含 資料〕
書誌事項
- タイトル別名
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- MeV イオン チュウニュウ ソウチ ガン シリョウ
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説明
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 機械技術研究所資料 / 工業技術院機械技術研究所 編
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機械技術研究所資料 / 工業技術院機械技術研究所 編 (91), p1-59, 1991-03
つくば : 工業技術院機械技術研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522262179836467328
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- NII論文ID
- 40000578999
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- NII書誌ID
- AN00048999
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- ISSN
- 02862263
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- NDL書誌ID
- 3865509
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles