大気圧プラズマを用いた低温・高速成膜技術
Bibliographic Information
- Other Title
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- タイキアツ プラズマ オ モチイタ テイオン コウソクセイ マク ギジュツ
- 特集 プラズマプロセスの応用技術
- トクシュウ プラズマプロセス ノ オウヨウ ギジュツ
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Journal
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- ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering
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ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering 55 (12), 889-895, 2010-12
川崎 : 化学工業社
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1522262179853689856
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- NII Article ID
- 40017400283
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- NII Book ID
- AN00074423
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- ISSN
- 03871037
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- NDL BIB ID
- 10917300
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
