光・電子機能有機材料の新展開(第4回)レジスト材料:短波長化に対する限りなき挑戦
Bibliographic Information
- Other Title
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- ヒカリ デンシ キノウ ユウキ ザイリョウ ノ シン テンカイ ダイ 4カイ
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Abstract
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
Journal
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- 機能材料
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機能材料 18 (5), 60-71, 1998-05
東京 : シーエムシー出版
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1522262180030304256
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- NII Article ID
- 40004421833
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- NII Book ID
- AN00360069
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- ISSN
- 02864835
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- NDL BIB ID
- 4446023
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
