イオンビームミキシング成膜法によるa-CNx膜のトライボロジー特性
Bibliographic Information
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- イオンビームミキシングセイマクホウ ニ ヨル a CNx マク ノ トライボロジー トクセイ
- 特集1 固体潤滑技術
- トクシュウ 1 コタイ ジュンカツ ギジュツ
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Journal
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- 月刊トライボロジー
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月刊トライボロジー 15 (8), 20-22, 2001-08
東京 : 新樹社
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1522262180031222016
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- NII Article ID
- 40004710924
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- NII Book ID
- AN10221852
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- ISSN
- 09146121
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- NDL BIB ID
- 5869698
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles