高エネルギー電子線によるSi基板へのGe,Sb及びW不純物原子のドーピング
書誌事項
- タイトル別名
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- コウエネルギー デンシセン ニ ヨル Si キバン エ ノ Ge,Sb オヨビ
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説明
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 名古屋工業技術試験所報告 / 名古屋工業技術研究所総務部業務課 編
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名古屋工業技術試験所報告 / 名古屋工業技術研究所総務部業務課 編 33 (4), p117-124, 1984-04
名古屋 : 工業技術院名古屋工業技術試験所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522262180513824640
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- NII論文ID
- 40002774401
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- NII書誌ID
- AN0017959X
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- ISSN
- 00277614
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- NDL書誌ID
- 2980294
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles