44回IUVSTAワークショップ報告 クラスター・イオンビームによるスパッタリングと二次イオン放出
書誌事項
- タイトル別名
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- 44カイ IUVSTA ワークショップ ホウコク クラスター イオン ビーム ニ ヨル スパッタリング ト 2ジ イオン ホウシュツ
- SASJ saloon: Participating report on "44th International Union for Vacuum Science, Technique, and Applications (IUVSTA) workshop on sputtering and ion emission by cluster ion beams"
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説明
記事種別: 会議・学会報告・シンポジウム
収録刊行物
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- Journal of surface analysis / 表面分析研究会 編
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Journal of surface analysis / 表面分析研究会 編 14 (1), 69-72, 2007-07
東京 : 表面分析研究会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522262180703206656
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- NII論文ID
- 40015683479
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- NII書誌ID
- AA11448771
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- ISSN
- 13411756
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- NDL書誌ID
- 8979291
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles