高圧アニールプロセスの半導体デバイス用デュアルダマシン銅配線形成への応用
書誌事項
- タイトル別名
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- コウアツ アニール プロセス ノ ハンドウタイ デバイスヨウ デュアル ダマシン ドウ ハイセン ケイセイ エ ノ オウヨウ
- 特集:薄膜技術
- トクシュウ ハクマク ギジュツ
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説明
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
収録刊行物
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- R&D神戸製鋼技報 = Research and development, Kobe Steel engineering reports
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R&D神戸製鋼技報 = Research and development, Kobe Steel engineering reports 52 (2), 45-52, 2002-09
神戸 : 神戸製鋼所技術開発本部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522262180856350720
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- NII論文ID
- 40005408251
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- NII書誌ID
- AN00004734
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- ISSN
- 03738868
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- NDL書誌ID
- 6293365
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP42(科学技術--金属工学・鉱山工学--鉄鋼)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles