MEKAカンパニー R2R方式超低抵抗・高透明ITOスパッタ装置に賭ける 挑戦する機械屋魂を持ち続けて30年 : ロック技研工業(株)
書誌事項
- タイトル別名
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- MEKA カンパニー R2R ホウシキ チョウテイテイコウ ・ コウトウメイ ITO スパッタ ソウチ ニ カケル チョウセン スル キカイヤダマシイ オ モチ ツズケテ 30ネン : ロックギケン コウギョウ(カブ)
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収録刊行物
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- コンバーテック
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コンバーテック 43 (3), 2-6, 2015-03
東京 : 加工技術研究会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522262180879658880
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- NII論文ID
- 40020394554
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- NII書誌ID
- AN10197190
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- ISSN
- 09112316
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- NDL書誌ID
- 026247536
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP17(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業--ゴム・プラスチックス)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles